近日，位于河北雄安新区的一座纳米级微振动实验室正式投入运营。该实验室由国家开发投资集团有限公司旗下的中国电子工程设计院股份有限公司自主研发建设，被认定为全球首个同类实验室，标志着我国在精密装备微振动环境控制领域实现了重大技术突破。
实验室的核心装置是一台自主研发的微振动模拟实验台，其平面尺寸达4米×4米，台体自重约50吨，设计承载能力高达20吨。这一规格使其成为全球尺寸最大、精度最高的同类设备，能够满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的高精度测试需求，填补了国际空白。
在技术性能方面，该实验台采用了空气弹簧主动隔振系统，可高效隔离来自地基及建筑结构的环境振动干扰。实测数据显示，其可将环境振动降低两到三个VC等级，在台面上营造出近乎纯净的微振动环境。同时，实验台配备了高精度直线电机作动器，能在0.5Hz至100Hz的宽频率范围内实现0.001Gal至5Gal的加速度精密输出，可模拟极其微弱的背景振动。
实验台还具备多模式振动模拟能力，可精确生成正弦波、随机波和扫频波，并支持单方向独立模拟或三方向同步模拟。这一特性使其既能进行特定频率成分的精细化分析，也能还原复杂真实环境下的多自由度耦合振动场景。
该实验室的建成填补了我国在微振动试验方法、精密设备振动容许标准、隔振装置评价体系及第三方试验服务等多个环节的技术与市场空白。在半导体领域，实验室可为光刻机、刻蚀机等核心设备提供标准化的微振动环境评估，帮助厂商优化结构设计，加速国产设备量产进程。在航天领域，实验室可模拟高分辨率遥感卫星的微振动环境，复现星上振动源对光学载荷的影响，并为低轨互联网卫星星座的批量化研制提供地面验证平台。
作为雄安新区“5+6”产业发展方向的重要布局，该实验室是中国电子院在微振动环境控制领域数十年科研积累的成果转化。国家开发投资集团有限公司表示，将依托实验室的技术优势，推动更多科创成果在雄安落地，助力当地培育新兴产业集群，发展新质生产力。
