近日，台积电在欧洲举办了一场技术论坛，吸引了众多行业目光。在会上，该公司负责业务开发及全球业务的资深副总经理张晓强发表了重要观点，他透露，台积电目前并未计划在先进制程中引入High NA EUV技术。
张晓强进一步指出，台积电最新推出的1.4nm级逻辑制程A14，即便没有采用High NA EUV图案化设备，其性能提升依然显著。这一成果无疑增强了台积电在先进制程技术领域的信心。
他强调，台积电的技术团队正致力于通过优化工艺，充分发挥Low NA EUV的潜力，以期在现有技术路径上取得更多进展。只要这一方向能够持续取得突破，台积电就无需在量产中引入成本高昂的ASML High NA EUV系统。
值得注意的是，在先进制程技术领域，英特尔曾是对High NA EUV技术最为积极的倡导者之一。然而，即便是英特尔，在实际生产中应用High NA技术时也表现得相对谨慎。据悉，与台积电A14同等名义制程的Intel 14A就提供了使用或不使用High NA的两种选项，这进一步体现了业界对于High NA EUV技术的审慎态度。
