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TEL发布芯片探针台Prexa SDP 助力2.5D与3D异构集成KGD精准筛选

2026-04-22来源:快讯编辑:瑞雪

半导体制造设备领域迎来重要突破,知名供应商TOKYO ELECTRON(TEL)于近日正式推出了一款名为Prexa SDP的芯片探针台,该设备专为切割后的单颗芯片测试而设计,旨在提升先进封装流程中的生产良率。

Prexa SDP的推出,标志着TEL在半导体测试设备领域迈出了重要一步。这款设备特别针对2.5D/3D异构集成流程中的封装前KGD(已知良品芯片)筛选工序进行了优化。通过与传统的晶圆级测试设备配合使用,Prexa SDP能够为先进封装的生产提供更为可靠的保障,确保每一颗芯片都符合高质量标准。

在技术层面,Prexa SDP搭载了TEL自主研发的高发热芯片专用温控技术。这一技术通过配备高散热性能的热控头以及支持高精度主动温控的系统,使得设备能够稳定应对高功耗芯片的测试需求。这不仅确保了芯片在测试过程中的可靠传输,还大大提高了KGD筛选的精准度,为半导体产品的最终良率提升奠定了坚实基础。

TEL后道事业部总经理佐藤阳平在谈到这款新设备时表示,随着半导体产品对先进封装技术的依赖日益加深,测试环节的重要性也愈发凸显。Prexa SDP的推出,正是TEL对市场需求的精准回应。它整合了TEL在晶圆探针台领域多年的技术积累,以及自研的温控技术优势,能够满足先进封装制程对高测试品质和设备稳定性的严苛要求。

佐藤阳平还透露,TEL将继续致力于创新性的技术研发,以不断满足客户在半导体制造过程中的实际需求。Prexa SDP的推出,只是TEL在半导体测试设备领域持续创新的一个缩影。未来,TEL还将带来更多高效、可靠的解决方案,助力半导体行业迈向新的发展阶段。

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